Xử lý các bộ phận chính xác không thể hoàn thành tất cả các nội dung xử lý của tất cả các bề mặt trong một quy trình và toàn bộ quy trình xử lý xử lý các bộ phận chính xác có thể được chia thành các giai đoạn sau.
(1) Giai đoạn gia công thô.Cắt bỏ hầu hết phụ cấp gia công của từng bề mặt xử lý và xử lý các điểm chuẩn chính xác, việc xem xét chính là tăng năng suất càng nhiều càng tốt.
(2) Giai đoạn bán thành phẩm.Cắt bỏ các khuyết tật có thể phát sinh sau khi gia công thô và chuẩn bị cho quá trình hoàn thiện bề mặt, yêu cầu độ chính xác gia công nhất định và đảm bảo phụ cấp hoàn thiện phù hợp, đồng thời hoàn thiện quá trình gia công bề mặt thứ cấp.
(3) Giai đoạn hoàn thiện.Trong giai đoạn này, sử dụng tốc độ cắt lớn, bước tiến nhỏ và độ sâu cắt, loại bỏ lề hoàn thiện do quy trình trước đó để lại, để bề mặt của bộ phận đáp ứng các yêu cầu kỹ thuật của bản vẽ.
(4) giai đoạn hoàn thiện.Chủ yếu được sử dụng để giảm giá trị độ nhám bề mặt hoặc tăng cường bề mặt gia công, chủ yếu cho yêu cầu độ nhám bề mặt rất cao (ra ≤ 0,32 μm) xử lý bề mặt.
(5) Công đoạn gia công siêu chính xác.Độ chính xác gia công trong 0,1-0,01 μm, giá trị độ nhám bề mặt công đoạn gia công ≤ 0,001 μm.Các phương pháp xử lý chính là: cắt chính xác, mài gương tốt, mài và đánh bóng chính xác, v.v.